keysight是德B1500A 半導體器件參數(shù)分析儀
產(chǎn)品描述
Keysight B1500A 半導體器件參數(shù)分析儀是精密電流-電壓分析儀系列的一款一體化分析儀,支持 IV、CV、脈沖/動態(tài) IV 等功能,專為從基礎到尖端應用的全方位表征而設計。它提供廣泛的測量功能,涵蓋器件、材料、半導體、有源/無源元件或幾乎任何其他類型的電子設備的電氣特性和評估,具有無與倫比的測量可靠性和效率。此外,B1500A 的模塊化架構具有 10 個可用插槽,如果您的測量需求隨時間變化,您可以添加或升級測量模塊。
Keysight EasyEXPERT group+ 基于 GUI 的表征軟件可在 B1500A 的嵌入式 Windows 10 平臺(配備 15 英寸觸摸屏)上使用,也可以在 PC 上使用,以加快表征任務的執(zhí)行速度。它支持從測量設置和執(zhí)行到分析和數(shù)據(jù)管理的整個表征過程中高效且可重復的器件表征,無論是交互式手動操作還是與半自動晶圓探針儀一起實現(xiàn)
整個晶圓的自動化。EasyEXPERT group+ 提供數(shù)百種即用型測量(應用測試),讓您能夠輕松地立即執(zhí)行復雜的器件表征,并允許您選擇在每次測量后自動將測試條件和測量數(shù)據(jù)存儲在獨特的內置數(shù)據(jù)庫(工作區(qū))中,確保有價值的信息不會丟失,并且可以在以后重復測量。Keysight B1500A 具有這些多功能功能,為器件表征提供了完整的解決方案。
基本功能(測量能力):
電流與電壓 (IV) 測量
? 0.1 fA - 1 A 和 0.5 μV - 200 V 的準確和精密測量范圍
? 點和掃描測量
? 時間采樣測量(最小采樣率 100 μs)
? 使用 MCSMU 進行脈沖測量,最小脈沖寬度為 50 μs,使用 HPSMU、MPSMU 或 HRSMU 的最小脈沖寬度為 500 μs
? ASU(atto-sense 和 switch unit)可與 MPSMU 或 HRSMU 一起使用,以提供 0.1 fA 測量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換
? 每種 SMU 類型(HPSMU、MPSMU 和 HRSMU)提供兩種模數(shù)轉換器選擇(高分辨率 ADC 或高速 ADC)
電容測量
? 多頻交流阻抗測量支持 CV(電容與電壓)、C-t(電容與時間)和 C-f(電容與頻率)測量
? 電容測量頻率范圍為 1 kHz 至 5 MHz
? 帶漏電流補償?shù)臏熟o態(tài)電容電壓 (QS-CV) 測量
? 使用可選的 SCUU(SMU CMU 統(tǒng)一單元)和 GSWU(保護開關單元)或一對 ASU 在 IV 和 CV 測量之間自動切換
脈沖 IV/快速 IV/瞬時 IV 測量
? 為超快速 IV(電流-電壓)、脈沖 IV 和瞬態(tài) IV 測量提供高速和高靈敏度測量能力,包括 NBTI/PBTI 和 RTN(隨機電報信號噪聲)測量
? 具有 10 ns 可編程分辨率的任意波形生成
? 同步高速電壓/電流測量(200 MSa/s,5 ns 采樣率)SMU 技術支持脈沖 IV 測量,無負載線效應
脈沖生成
? 高達 ±40 V 的電壓脈沖和任意波形生成,用于非易失性存儲器評估
? 單通道 2 級和 3 級脈沖能力
B1500A 平臺
? 15 英寸觸摸屏支持直觀 GUI 的所有功能,便于設備表征
? 可配置和可升級的測量模塊,每個主機有 10 個插槽
? GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 視頻輸出端口
EasyEXPERT group+ 軟件
? 特性分析環(huán)境可在主機(嵌入式 Windows 10)或用戶的 PC 上使用
? 基于圖形用戶界面的直觀操作,包括鍵盤、鼠標操作和觸摸屏
? 應用測試模式提供數(shù)百種即用型應用測試,以便快速執(zhí)行測量
? 經(jīng)典測試模式可輕松訪問儀器的全部功能
? 圖形顯示和分析功能有助于進行前端數(shù)據(jù)分析,無需額外的實用程序,并支持將報告生成為圖像數(shù)據(jù)或 Excel 數(shù)據(jù)
? 個性化內置數(shù)據(jù)庫(工作區(qū))自動記錄測試數(shù)據(jù),簡化數(shù)據(jù)管理,不會煩惱大量數(shù)據(jù)文件
? 示蹤測試模式支持曲線示蹤器(如旋鈕)控制測量參數(shù),以支持交互式實時設備表征和自動數(shù)據(jù)記錄功能
? 示波器視圖(適用于 MCSMU)支持脈沖電壓和電流波形查看,以便快速輕松地進行定時驗證
? 快速測試模式支持無需編程即可進行測試排序
? Keysight B2200A、B2201A 和 E5250A 開關矩陣的基于 GUI 的控制基于 GUI 的自檢、自校準和診斷菜單,用于硬件維護
? EasyEXPERT 遠程控制功能支持通過 LAN 接口以交互方式在 GUI 上創(chuàng)建的應用程序測試的遠程測量執(zhí)行
? 數(shù)據(jù)備份功能和各種數(shù)據(jù)保護功能,供多個用戶共享使用
? EasyEXPERT group+ 可以根據(jù)需要安裝在任意數(shù)量的 PC 上,無需額外付費,即可在您所在部門的用戶中利用離線個人分析儀環(huán)境。